产品简介

双轴应用增量式光栅测量系统，测量范围大

采取接触式测量方式，测量时测针可从X轴或Z轴双方向自动接触工件表面

一次测量，即可完成粗糙度和轮廓参数测量，不用更换测针（传感器）

测量时工件无需水平调整，工件与X轴不平行时测量照常执行

应用超精电子反馈测力系统

操纵杆全自动控制测量

符合ISO国际标准/ DIN德国标准//JIS日本标准

全新PCMS集成控制化技术（计算机集成化测量系统技术）

全新的远程升级诊断技术支持网上软件升级和在线故障分析

技术规格

X轴 绝对测量长度0-225/325/425mm；

Z轴 绝对测量长度0-225/325/425mm；

OPTACOM独有的SoftTouch©软技术；

X轴 Z轴 双方向自动接触工件表面；

电子反馈测力机构；

移动速度： 0.1 – 2 mm/s 软件可根据工件表面状态动态调节测量速度；

设备技术参数

表面粗糙度测量不确定度：5％ （DIN ISO 1级 不包括粗糙度样板误差）；

尺寸距离测量精度: +/- (0.5μm+L/100 L为mm)

轮廓测量精度: 0.01%-1%(玻璃标准半球R)

水平测量X轴：

精密THK圆柱钢制导轨；

测量长度：225/325/425mm；

分辨率：0.002μm；

水平测量速度：0.1 – 2 mm/s 软件可根据工件表面状态动态调节测量速度；

驱动：伺服驱动，计算机直接控制驱动箱移动，有急停开关保护；

垂直测量Z轴：

精密THK圆柱钢制导轨；

测量长度: 225/325/425mm；

分辨率:  0.002μm；

垂直测量速度: 0.1～2mm/s 任意设定；

驱动: 伺服驱动，计算机直接控制驱动箱移动，有急停开关保护；

测针参数（粗糙度, 波纹度, 微观轮廓测量）：

Optacom测量系统标准配置包含标准器，软件内置校准程序；

测量臂：轻型高强度碳纤维聚合物测量臂,臂长185；

测针：带快卸自定位装置的楔形测针、圆锥形测针或球形测针；

针尖最小分辨率：3nm；

测量力：0-150 mN 任意设定，计算机选择；

截至波长：0.08/0.25/0.8/2.5(mm) 或自定义cut-off

测针分辨率：全量程内可选30nm/12nm/6nm

滤波：Gaussian; 2RC; _s-filter

粗糙度参数依据 DIN EN IOS 4287标准： Rz; Rzmax; Rp; Rv; Ra; Rt; Rq,

粗糙度参数依据 DIN EN IOS 13565标准： Rk; Rpk; Rvk; Mr1; Mr2

粗糙度日系标准 JIS B-0601： Rz; Ra

轮廓参数依据   DIN EN IOS 4287 标准： Pp; Pv; Pz; Pa; Pt; Pq; Psk

波度参数依据   DIN EN IOS 4287 标准： Wp;Wv; Wz;Wa;Wt;Wq